傳感器微型化，是當今傳感器技術的主要發(fā)展方向之一，也是微機械電子（微機電）系統(tǒng)(Micro-Electro Mechanical Systems，MEMS)技術發(fā)展的必然結果。MEMS技術，是當前蓬勃發(fā)展的前沿技術，微傳感器是目前最為成功、最具有實用性的微機械電子系統(tǒng)裝置。微傳感器包括三個層面的含義：
1)單一微傳感器。它的一個顯著特點就是尺寸小（一般敏感元件的尺寸從毫米級到微米級、有的甚至達到納米級）．在加工中，主要采用精密加工、微電子技術以及MEMS技術，使得傳感器的尺寸大大減小。
2)集成微傳感器。將微小的敏感元件、信號處理器、數據處理裝置封裝在一塊芯片上形成集成的傳感器。
3)微傳感器系統(tǒng)。包括微傳感器、微執(zhí)行器，可以獨立工作。此外，還可以由多個微傳感器組成傳感器網絡或者通過其他網絡實現異地聯(lián)網。
微傳感器具有一系列的優(yōu)點：①體積小，重量輕；②功耗低；③性能好；④易于批量生產，成本低；⑤便于集成化和多功能化；⑥提高智能化水平。
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